柔性生产线

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仪器分类:工艺试验仪器>加工工艺实验设备>机器加工工艺实验设备

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C409 反应离子刻蚀机

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喷镀机(2016)(D)

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人机协作制造测试系统

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激光快速三维成型系统

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激光解理机

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6英寸分布重复光刻机

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双轨全自动涂胶显影机

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氮化镓半导体外延炉(旧)

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ICP等离子体刻蚀机(Ⅲ-Ⅴ)

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卧式高真空2300度高温炉

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分步投影光刻机(旧)

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