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光学显微镜
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：奥林巴斯 奥林巴斯BX51
3D光学表面轮廓仪
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：Zygo Zygo Portable
组合光学测量系统
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：TRIOPTICS ImageMaster HR
绘图仪
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：惠普 HP T1300
Edge扫描测量臂
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：法如 Faro2.7米7轴Edge扫描测量臂
双频激光干涉仪
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：Keysight KEYSIGHT 5517D
PMI干涉仪
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：ZYGO Verifire QPZ
镜面间距测量仪
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：TRIOPTICS OptiSurf OS-600-1
高分辨率数字万用表
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：泰克 2002
数字荧光示波器
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：泰克 DPO4104B
三维混合纳米定位台
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：PI P-915K565
高低温低气压环模实验箱
所属领域：智能装备
仪器分类：
规格型号：重庆银河 QD605
