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高密度等离子体刻蚀机(纳米区域中心)（三室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Corial 200IL
高精密激光图形发生器（纳米区域中心）（三室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：DWL2000
电子束蒸发台(纳米区域中心)（三室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Denton Vacuum Explorer 14
步进式光刻机（stepper 1755i7a）（四室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：nikon—1755i7a
半导体特性测试仪（一室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：4200-SCS
半导体功率器件栅电荷测试系统（一室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：ITC 59100
半导体功率器件热阻测试系统（一室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：TESEC 9424-KT
半导体功率器件静态测试系统（一室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：TESEC 3620-TT
半导体功率器件动态测试系统（一室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：TESEC 3430-SW
半导体电学参数分析仪（纳米区域中心）（三室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Keithley 4200
JBX6300FS电子束曝光系统(纳米区域中心)（三室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：JEOL JBX6300FS
无线协议栈测试仪(二室)2014
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：VeriWave WT90
