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磁控溅射台（八室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：SP-3
X射线衍射仪（八室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Smart lab
XeF2气相腐蚀设备（8寸）（十室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Xactix Xtech X4
RIE ME-3A（四室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：ME-3A
PECVD非晶硅淀积设备 （8寸）（十室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：MiniLock III
PECVD 790+（四室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：790+
ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Sentech2#（四室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：SI500
ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Sentech1#【四室】
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：SI500
ICP-电感耦合等离子体刻蚀系统-Corial 1#【四室】
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：Corial 200IL
原子层沉积系统（纳米区域中心）（三室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：BENEQ TFS200
有机结构高密度等离子体刻蚀设备（三室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：NE550-H（SI）
光学光刻机(纳米区域中心)（三室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：SUSS MA6
