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小信号高低温在片测试系统（四室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：CASCADE12000
网络分析仪（十一室）（2014）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：N5227A
椭偏仪（八室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：UVISEL 2
椭偏仪（8寸）（十室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：SOPRALAB GES5
探针台（一室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：PW-800
台阶仪（八室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：P6 KLA-Tencor
四探针测试仪（8寸）（十室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：280ST
频谱分析仪（十一室）（2014）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：N9030A
量子级联中红外可调谐变波长半导体激光器（三室）2014
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：alpes laser sb5133
离子注入机（八室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：PIII-100
快速退火炉（八室A）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：AW810
集成电路测试系统V93000（一室）
所属领域：新一代信息技术
仪器分类：
规格型号：V93000
