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ICP刻蚀机
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司/DSE200
电子束曝光机
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：RAITH/IONLINE
聚焦离子/电子双束系统
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：FEI/Helios Nanolab 600i
等离子增强化学气相沉积系统与反应离子刻蚀系统
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：NANO-MASTER/NRP-4000
紫外光刻机
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：MYCRO/NXQ4006
半导体参数分析仪
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：安捷伦/B1500A
高功率高压直流电源
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：FuG/HCH 15000-65000 MOD
9特斯拉无液氦强磁场低温系统
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：CRYOMAGNETICS/9T
原子力显微镜
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：BRUKER/Dimension ICON-PT
综合物性测量系统
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：QUANTUM DESIGN/DynaCool-9
立体时间解析粒子成像测速场仪
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：LAVISION公司/HSS4
极低温强磁场综合物性测量系统
所属领域：新材料
仪器分类：
规格型号：QD/PPMS-16
