仪器信息

厂商及规格型号 ContourX-200
性能参数 1设备采用白光干涉原理成像，具备白光和绿光LED双光源； 2 垂直方向单次测量量程：≥10mm，全量程闭环控制，无缝合拼接； 3 台阶高度误差：≤0.75%；台阶高度测试重复性：≤0.1%； 4 粗糙度测试RMS重复性：≤0.01nm； 5 扫描速度：≥37µm/sec； 6 CCD相机：500万像素；1200*1000数据阵列； 7 五孔物镜切换塔台，包含5倍和20倍干涉物镜； 8 自动样品台：XY方向移动范围≥150mm×150mm； 9 具有自动缝合功能实现更大面积的扫描，可实现方形、圆形、圆环形、螺旋式等多种拼接缝合方式； 10 样品台倾斜调整：调节范围≥±6°；多区域自动分析：自动获取图案化形貌区域的三维信息（高度、宽度、面积、体积、粗糙度、倾角等），同时具有自动统计分析功能，最大限度排除人为操作影响； 11 具备自动寻找测试表面和干涉条纹功能，无需手动调节。测试和分析一体化软件，测试结束之后可自动进行数据分析、数据保存。包含8um标准台阶样品和气浮式防震台。
主要功能 易于使用的界面，可快速准确地获得结果 自动化功能用于日常测量和分析 最广泛的滤镜和分析工具选项，用于粗糙度和关键尺寸测量分析 满足包括ISO 25178, ASME B46.1, ISO 4287等标准在内的定制化分析报告 ContourX-200光学轮廓仪展现出定量计量所需的低噪声、快速、精度的准确结果。 通过使用多个镜头和集成的特征识别功能，设备可以在各种视野内以亚纳米垂直分辨率跟踪特征，可用于各种不同行业中的质量控制和过程监控应用。 ContourX-200对于反射率从0.05％到100％的各种表面都非常易于测量。