仪器信息

厂商及规格型号 Dektak XT
性能参数 1 单次扫描最大长度≥55mm。 2 测试高度方向的重复性≤0.4nm(1微米的标准台阶)。 3 测试垂直分辨率≤0.1nm。 4 探针压力:1-15mg能控制探针压力。 5 单次扫描采样点数≥120,000。
主要功能 强化操作的可重复性；提高数据采集和分析速度