仪器信息

厂商及规格型号 CNT-BOH
性能参数 加热方式：两电极MEMS加热； 加热温度范围：室温—1000 ℃ 气体流速可控： 0-1mL/Min，最小气体流速≤5nL/s。 压力范围： 0-1000 mba； EDX探测器温度：室温—900℃；
主要功能 1. 芯片式设计，提供多种窗口薄膜厚度，可选择种类不少于 10nm、20nm、30nm； 2. 多级复合加热微电路芯片设计可控制加热过程热扩散，能实现原子分辨成像； 3. MEMS芯片内部的加热丝是被SiN包裹的高稳定性贵金属材料（如Pt），非陶瓷材料。不与样品发生反应； 4. 混合气路管道：不少于 3路；气体种类：至少包括一氧化碳（CO）、乙炔（C2H2/C2H4）、甲烷 （CH4）、氧气（O2），二氧化碳（CO2）、氢气（H2），氦气（He），氩气（Ar），氮气（N2），空气等； 5. 通过程序控温软件实现温度信号的高频率输出、接收、反馈、调节，进行程序升温降温。具有绝对温标校准程序，对每一块芯片进行真实环境下的温度曲线矫正； 6. 可搭配气体分析质谱仪，气路系统包含搭配透射电镜使用的分流阀门与管路，可以在不影响响应速度或反应动力学的情况下，调整气体分析仪中的压力。可对微量气体 (<100μl)进行实时采样并进行在线气体分析。