仪器信息
| 厂商及规格型号 | 1061 |
| 性能参数 | 两支TrueFocus电磁聚焦离子源 可调节能量范围100 eV到10 keV ， 最大束流密度可达10 mA/cm2 抛光角度 0° 到 +10˚连续可调 可选择单枪或双枪工作模式 两支离子枪能量可独立调节 离子束束斑大小300μm —5mm连续可调 |
| 主要功能 | 1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪 2. 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)，超宽加速电压范围：100eV到10kV，不同加速电压下，离子束束斑均保持最细最优束斑状态 3. 配备磁编码器，带有样品测厚功能，自动匹配最佳抛光位置，保证最佳的抛光质量和效率 4. 具备原位实时观察及记录抛光过程功能，可通过时间或温度自动停止 |
