仪器信息

厂商及规格型号 1051
性能参数 减薄角度：＋10°—－15°，每支离子枪可独立调节； 样品台旋转速度：1-6 rpm； 束斑尺寸：300 um-5 mm，连续可调； 离子束能量范围：0.1 keV-10 keV
主要功能 1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪，同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)； 2. 超宽加速电压范围： 100 eV-10 kV； 3. 原位实时观察并记录减薄过程；，可通过时间、温度及透光性自动停止； 4. 自动独立气源控制