仪器信息

厂商及规格型号 200
性能参数 样品厚度控制精度：1 um； 研磨速率精度： 0.1 um/min； 独立控制研磨轮以及样品台旋转速率； 底光及顶光照明
主要功能 1. 具备研磨速率控制模式，可实现双面凹坑； 2. 可控磨削力度和速度，无震动研磨； 3. 精确显示试样厚度；