仪器信息

厂商及规格型号 EM ACE600
性能参数 离子溅射电流：15-150 mA，连续可调； 氩气消耗：18 sccm； 溅射时间：1-1800 s可调； 镀膜厚度：1-100 nm可调，自动终止，检测精度0.1 nm； 靶材直径：54 mm
主要功能 1. 自动化控制 直观的触摸屏设计和自动化过程控制 2. 可视化 装样简便，抽真空快速 3. 高纯度膜 膜厚更精准，结果重复性更好