仪器信息
| 厂商及规格型号 | SEM5000 |
| 性能参数 | 分辨率：1 nm@15 kV，1 nm@1 kV; 加速电压：0.02—30 kV 放大倍数：1×—2, 500, 000× 样品台：五轴全自动样品台 |
| 主要功能 | 1. 高分辨率 可在低加速电压下实现高分辨成像 2. 电磁复合物镜 可减小像差，显著提高样品分辨率，而且可以观察磁性样品 3. Super Tunnel 高压隧道技术可以有效减少空间电荷效应，提高图像质量 4. 无交叉电子光路 降低系统像差，提高分辨率 5. 水冷恒温物镜 保证物镜工作的稳定性、可靠性和可重复性 6. 磁偏转六孔可调光阑 自动切换光阑孔，无需机械调节，实现高分辨率观察或大束流分析模式快速切换 |
