仪器信息

性能参数 二次电子分辨率： 1.0 nm@20kV； 低真空背散射电子分辨率：1.8 nm@15kV； 加速电压：0.5-30 kV 束流范围：1 pA-300 nA 放大倍数：5×—600, 000×
主要功能 1. 光学/SEM图像无缝过渡 具有将样品台图像、光学像和SEM像联动的功能，样品台上有多个样品和观察特定区域时，很容易搜寻视野； 2. 一体化EDX和实时分析 SEM操作界面上有EDS分析操作，观察分析无障碍；Live Analysis具有实时显示特征X线谱图功能； 3. 数据报告快速生成 JEOL独有的数据管理工具。 光学像、SEM像、EDS分析结果一并保存。报告书一键生成； 4. 信号深度显示 增加了【信号深度显示】功能，实时了解在测样品的分析深度（参考），有效用于元素分析中。 5. 大尺寸拼图 能够将广域内采集到的所有图像拼接成一个高清图像。此功能对于获取大面积详细信息非常有用。