仪器信息

厂商及规格型号 Crossbeam 350
性能参数 离子束分辨率：≤3 nm@30kV； 二次电子分辨率：0.9 nm@15kV； 加速电压：0.02-30 kV 放大倍数：12×—2, 000, 000× 离子束最大可用加工束流强度100 nA
主要功能 1. Gemini电子光学系统 拥有高信噪比优势、高分辨率和高衬度，在低加速电压下也能保持高水准； 2. Ion-sculptor镜筒 低电压下获得更高分辨率的图片同时降低样品的非晶化损伤； 3. 大束流FIB 束流最大可达到100 nA， 可以大幅度节省样品加工时间以及提高加工精度； 4. 3D分辨率高 可以在FIB-SEM断层扫描成像中获取更精准、可靠的结果； 5. 批量制备样品 在预设位置执行TEM样品的批处理流程，可以在无人值守的情况下连续批量制备样品； 6. 实时监控模式 可以利用分屏功能实时监控减薄样品的厚度。