仪器信息

厂商及规格型号 JSM-IT800（物镜极靴SHL）
性能参数 二次电子分辨率：0.5 nm@15kV； 分析模式分辨率：3.0 nm@5kV/5nA/WD=10mm； 背散射电子分辨率：1.5 nm@15kV； 加速电压：0.01-30 kV 放大倍数：光镜模式：1×—30× 电镜模式：10×—2, 000, 000×
主要功能 1. 卓越的低电压分辨率 可以直接观察不导电样品； 2. 连续可变束流 分析束流可在1 pA-500 nA之间连续调整，保证元素分析时足够的束流强度，同时保证在低电压下可以保证能谱分析的分辨率； 3. SHL物镜 电磁/静电混合透镜技术，可以得到短距离内的磁性样品的高分辨像； 4. 多种SE2/BSE探测器 可以在各种电压条件下获得高分辨率、高信噪比的二次电子、背散射电子图像； 5. EDX Playback功能 采集面扫图时可以提取每一帧的面分布，有利于对电子束敏感材料和原位实验进行能谱分析； 6. 高速EBSD探头 在线解析标定速率≥5000点/s，降低扫描时间，提高扫描效率。