仪器信息

厂商及规格型号 NAP-XPS Backfilling
性能参数 单色化Al靶，能量1486.6 eV；单色化高能Cr靶，能量5400 eV 微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm 一维延迟线探测器（1D-DLD）：线性响应为9 Mcps 电子能量分析器：能量分辨率20 meV，探测能量范围达到6 keV 工作时真空范围：满足 10-10–10-6 mbar 全自动五轴样品台：X方向50 mm，Y方向30 mm，Z方向18 mm，移动的分辨率为1 μm，可倾斜范围为-90°到+90°度，分辨率优于1° 配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K 光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm 配备荷电中和枪和低能离子源 电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar
主要功能 1、在同一光源上两种靶材可自由切换：单色化阳极靶微聚焦X射线光源：单色化Al靶，能量1486.6 eV；单色化高能Cr靶，能量5400 eV；靶光通量高于1.0×1010 光子/秒 2、带有微聚焦功能，微聚焦最小光斑200 μm，光阑选择最小光斑可到20 μm 3、配备3路进气管路系统，质量流量计，具备自动压力控制功能，压力范围：满足1-30 mbar 4、配备电子束加热，在10 mbar条件下，样品温度最高可达600℃；配有液氮冷却，样品最低温度可达150 K 5、荷电中和枪：能量范围：1 eV-500 eV，束流可达1 mA 6、低能离子源：能量范围200 eV-5 keV连续可调，扫描面积：10×10 mm；光斑尺寸：≤125 μm，最大束流≥ 1 μA at 200 eV，7 μA at 5 keV 7、光学相机：用于样品位置观测，视场可选范围10–100 mm，分辨率为50 μm 8、电化学反应池：配备三电极和两个电解液管道；气压范围：2-1000 mbar；电化学反应池放置在与XPS系统连接的手套箱里，电解液可动态流动，可将反应后的电极传入到XPS分析腔中进行分析测试。