仪器信息

厂商及规格型号 PHI nano-TOF3
性能参数 质量分析器：三重聚焦质量分析器； 质量范围：1～12000 amu； 空间分辨率：≤ 50nm； 深度分辨率：2nm； 探测极限：ppm – ppb量级； 低质量时质量分辨率：m/z = 29 (SiH+) 的m/∆m ≥ 12000； 高质量时质量分辨率：m/z ＞200的m/∆m ≥ 16000； 绝缘材料质量分辨率：PET标准样品m/z = 104的m/∆m ≥ 12000；
主要功能 1.离子减薄仪：减薄角度从0°到40°可调，电动样品台可以360°连续旋转，并可设定±10~120°左右摆动。 2.样品变温台：nanoTOF 配有变温组件，变温区域直径10 mm 厚度 3mm。可以调节和控制样品温度范围 -120℃到+160℃。 3.配备有多种离子源：液态金属离子枪（LMLG）Bi、FIB聚焦离子源Bi、双束荷电中和系统、氩气团簇离子源（GCIB）、Cs离子源、Ar/O双气离子源、氧喷射源。