仪器信息
厂商及规格型号 | JEM 2100F |
性能参数 | 1.分辨率:点分辨率0.19nm,线分辨率0.10nm; 2.加速电压:200kV; 3.电子枪类型:肖特基场发射电子枪; 4.束流:1.0nm束斑电流打到0.5nA,2.5nm束斑电流达到3.0nA; 5.放大倍数:最小50倍,最大1,500,000倍; 6.样品台:5轴样品台; 7.样品杆:单傾样品杆,和低背景双傾样品杆 |
厂商及规格型号 | JEM 2100F |
性能参数 | 1.分辨率:点分辨率0.19nm,线分辨率0.10nm; 2.加速电压:200kV; 3.电子枪类型:肖特基场发射电子枪; 4.束流:1.0nm束斑电流打到0.5nA,2.5nm束斑电流达到3.0nA; 5.放大倍数:最小50倍,最大1,500,000倍; 6.样品台:5轴样品台; 7.样品杆:单傾样品杆,和低背景双傾样品杆 |