仪器信息

厂商及规格型号 COHERENTINC/COMPex201
性能参数 1.最大脉冲能量：750 mJ； 2.脉沖能量波动：75%； 3.极限真空度：6.67*10-5Pa； 4.样品尺寸：1英寸； 5.沉积源：φ60，可装4块靶材，实现公转换靶位，每块靶材可自转； 6. 片内膜厚均匀性：<5%； 7. 样品加热温度：800°C