仪器信息
| 厂商及规格型号 | Scios 2 HiVac |
| 性能参数 | 1.电子束分辦率：1.4nm@1kV； 2.离子束分辦率：3.0nm@30kV； 3.加速电压：0.2kV-30kV（电子束系统），0.5kV-30kV（离子束系统）； 4.背散射电子探测器（外置CBS探测器、镜筒内T1探测器）； 5.气体注入系统 (GIS-Pt、C沉积）； 6.能谱探测器 (Bruker EDS)； 7.能谱仪分辨率：Mn-Ka< 126eV, C-Ka<57eV, F-Ka<67eV； 8.样品台：X、Y方向移动范围：110mm，Z方向移动范围：65mm，倾斜角度：-15°-90° |
