仪器信息

厂商及规格型号 LYRA3 GMU
性能参数 1.电子束分辨率：1.0nm; 2.离子東分辦率：2.5nm; 3.高角暗场扫描投射探测器 (STEM); 4.背散射电子探测器 (BSE); 5.二次离子探测器 (SITD); 6.气体注入系统 (GIS-Pt沉积）; 7.能谱探测器 (Bruker EDS) 飞行时间二次离子质谱仪 (TOF-SIMS)：纳米级空间分辨率及ppm级检出限，可实现H、Li等元素深度剖析及三维重构