仪器信息

仪器所属类别 工艺试验仪器>加工工艺实验设备>机器加工工艺实验设备
主要学科领域 动力与电气工程
主要功能 高精度电子束曝光，该机主要用于大规模集成电路的掩模版制作，可在硅片上直接曝光。也可用于一些特殊器件和特种加工制造的研究和开发。 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。