仪器信息

仪器所属类别 工艺试验仪器>加工工艺实验设备>机器加工工艺实验设备
主要学科领域 动力与电气工程
主要功能 高精度电子束测量和离子束刻蚀，型号：FEI DualBeam 820. FIB/SEM（离子束/电子束）;最精准分辨率高达7nm;可同时提供FIB聚焦离子束切割修改与SEM电子束影像观察 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。