仪器信息

仪器所属类别 其他仪器>其他>其他
主要学科领域 物理学
主要功能 探针台是一种高精度移动控制的半导体芯片测试平台。芯片采用人工方式安装并吸附到载物台上，通过探针台的载物台、高精度的移动控制系统和显微镜成像系统，实现测试探针与待测芯片电极的电接触，为待测芯片提供测试平台，测试半导体芯片的I-V，C-V等电性能指标。 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。