仪器信息

仪器所属类别 其他仪器>其他>其他
主要学科领域 物理学
主要功能 主要功能：等离子刻蚀是利用高频辉光放电效应，使反应气体激活成活性粒子，如原子或游离基，这些活性粒子扩散到需刻蚀部位，与被刻蚀材料进行反应，形成挥发性反应物而被去除。其优势在于快速的刻蚀速率同时可获得良好的物理形貌。 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。