仪器信息

仪器所属类别 其他仪器>其他>其他
主要学科领域 物理学
主要功能 实现两样片之间的键合的对准，具有对位调节系统，可对键合过程中的压力和温度进行控制，可以对键合的腔体进行真空控制 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。