仪器信息

仪器所属类别 其他仪器>其他>其他
主要学科领域 物理学
主要功能 微机械工艺气体处理系统用于反应离子刻蚀系统（RIE）和等离子体增强化学沉积系统(PECVD)的工艺气体供应以及危险尾气处理（处理尾气包括硅烷、氨气和其它工艺废气）。 大型科研仪器设备是指价值在50万元以上，能独立完成实验任务的单台套大型科研仪器设备。包含隶属于重大科研基础设施、科学仪器中心的单台套价值在50万元及以上的大型科研仪器。